Immersionslithographieverfahren mit Kohlendioxid

EP1602012 Art A1 7. Dezember 2005

Anmelder: UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1602012
Aktenzeichen
EP04704981
Anmeldetag
23. Januar 2004
Veröffentlichung
7. Dezember 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of North Carolina at Chapel Hill

US-amerikanische öffentliche Universität in North Carolina, eine der ältesten staatlichen Hochschulen der USA mit umfangreicher Forschung unter anderem in Medizin und Naturwissenschaften.

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