Immersionslithographieverfahren mit Kohlendioxid
EP1602012
Art A1
7. Dezember 2005
Anmelder: UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1602012
- Aktenzeichen
- EP04704981
- Anmeldetag
- 23. Januar 2004
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of North Carolina at Chapel Hill
US-amerikanische öffentliche Universität in North Carolina, eine der ältesten staatlichen Hochschulen der USA mit umfangreicher Forschung unter anderem in Medizin und Naturwissenschaften.
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Fachgebiete
Vertreten von
Naismith, Robert Stewart
Glasgow, Großbritannien
916
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21
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