Verfahren zur Automatischen Konfiguration einer Prozessanlage
EP1602015
Art A2
7. Dezember 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1602015
- Aktenzeichen
- EP04710646
- Anmeldetag
- 12. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/418H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Freeman, Avi
Harrow, Großbritannien
698
Patente gesamt
33
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Flint, Adam
Page White & Farrer · London