Verfahren zum Ätzen einer Probe sowie Ätzanlage
EP1602122
Art A1
7. Dezember 2005
Anmelder: Micronas GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1602122
- Aktenzeichen
- EP04718650
- Anmeldetag
- 9. März 2004
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Micronas GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Micronas
Micronas war ein deutsch-schweizerisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Freiburg, das inzwischen zu TDK gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Nachrichtentechnik und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2016.
399 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Göhring, Robert
Villingen-Schwenningen, Deutschland
164
Patente gesamt
23
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte