Polierverfahren

EP1602444 Art B1 12. März 2008

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1602444
Aktenzeichen
EP05018524
Anmeldetag
29. Januar 2001
Veröffentlichung
12. März 2008
Erteilung
12. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B37/00B24B41/06B24B49/14B24B55/02B24B57/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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