Verfahren zur Herstellung eines Kupferlegierungssputtertargets

EP1602747 Art B1 30. März 2011

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation, Nippon Mining & Metals Co., Ltd., Nikko Materials Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1602747
Aktenzeichen
EP04712732
Anmeldetag
19. Februar 2004
Veröffentlichung
30. März 2011
Erteilung
30. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34H01L21/28H01L21/285H01L21/768C22C9/01C22C9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Nikko Materials Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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