Schutzkappe für eine Lampe und Verfahren zum Einbau einer Lichtquelle in einem lithographischen Apparat
EP1602980
Art A3
26. September 2007
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1602980
- Aktenzeichen
- EP05104310
- Anmeldetag
- 20. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 26. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20B65D85/42F21V25/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Van den Hooven, Jan
Veldhoven, Niederlande
677
Patente gesamt
18
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
van Westenbrugge, Andries
NoneDen Haag