Apparat und Methode zur Oberflächenbehandlung von Silizium
EP1603154
Art A3
29. September 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1603154
- Aktenzeichen
- EP05019274
- Anmeldetag
- 18. September 2000
- Veröffentlichung
- 29. September 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C23C16/02H01L21/762H01J37/32// C23C16/455
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Setna, Rohan P
London, Großbritannien
754
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
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