Verfahren zur Messung des Profils Komplexer Oberflächenstrukturen mit Hilfe von Scanninginterferometry

EP1604169 Art B1 6. Mai 2020

Anmelder: ZYGO CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1604169
Aktenzeichen
EP04718562
Anmeldetag
8. März 2004
Veröffentlichung
6. Mai 2020
Erteilung
6. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02G01B11/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ZYGO CORPORATION
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Epping, Wilhelm München, Deutschland
300
Patente gesamt
31
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Elektronik & Schaltungstechnik Software & Datenverarbeitung Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
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