Verfahren zur Verbesserung der Haftung von Zwischenschichten

EP1604394 Art A2 14. Dezember 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1604394
Aktenzeichen
EP04718082
Anmeldetag
5. März 2004
Veröffentlichung
14. Dezember 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/31H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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