Verfahren zur Verhinderung der Kontamination während der Herstellung einer Halbleitervorrichtung
Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., Matsushita Electric Industries Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1605076
- Aktenzeichen
- EP05018537
- Anmeldetag
- 31. März 2003
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/20H01L21/205C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Matsushita Electric Industries Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.
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Matsushita Electric Industries war die frühere Bezeichnung des japanischen Elektronikkonzerns, der heute als Panasonic firmiert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Telekommunikation und Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Software und Akustiktechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2005 und betreffen unter anderem Klimatechnik und Batterien.
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