Verfahren zur Bildung eines Isolationsfilms in einem Halbleiterbauelement

EP1608007 Art B8 26. September 2012

Anmelder: HORIBA, LTD., Renesas Electronics Corporation, ROHM CO., LTD., Renesas Technology Corp., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1608007
Aktenzeichen
EP04721668
Anmeldetag
18. März 2004
Veröffentlichung
26. September 2012
Erteilung
26. September 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/318C23C16/56C23C16/455H01L21/3105H01L21/314H01L29/51H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
HORIBA, LTD.
Renesas Electronics Corporation
ROHM CO., LTD.
Renesas Technology Corp.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Horiba

Horiba ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher und analytischer Messinstrumente. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

697 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Renesas Electronics

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Mikrocontroller, analoge Bauelemente und Halbleiterlösungen unter anderem für die Automobil- und Industrieelektronik.

1.103 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Rohm

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).

2.771 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Renesas Technology

Renesas Technology war ein japanischer Halbleiterhersteller und Vorgängerunternehmen der heutigen Renesas Electronics. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Software, ergänzt um Datenspeicher- und Schaltungstechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2009.

421 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

3.782 Patente in unserer Datenbank

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