Herstellung von mit Luft gefüllten Lücken um eine Verbindungsleitung herum
EP1608013
Art B1
24. April 2013
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1608013
- Aktenzeichen
- EP04447220
- Anmeldetag
- 30. September 2004
- Veröffentlichung
- 24. April 2013
- Erteilung
- 24. April 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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