Verfahren zur Herstellung einer Membran in einer (111) Fläche eines (100) Siliziumwafers
EP1608590
Art A1
28. Dezember 2005
Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1608590
- Aktenzeichen
- EP04722478
- Anmeldetag
- 22. März 2004
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technische Universiteit Delft
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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Vertreten von
Kupecz, Arpad
Amsterdam, Niederlande
321
Patente gesamt
31
Fachgebiete
13
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Schwerpunkte