Vorrichtung zur Abscheidung von Verbindungen auf einem Substrat mittels Metallorganischer Gasphasendeposition

EP1608794 Art B1 16. September 2009

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1608794
Aktenzeichen: EP04713004
Anmeldetag: 20. Februar 2004
Veröffentlichung: 16. September 2009
Erteilung: 16. September 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/44C23C16/30C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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