Verfahren und System zur Einzel- oder Mehrperiodenranddefinitionslithographie
EP1609176
Art A2
28. Dezember 2005
Anmelder: NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1609176
- Aktenzeichen
- EP04758016
- Anmeldetag
- 22. März 2004
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/338H01L21/336
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
North Carolina State University
US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.
380 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Skuhra, Udo
München, Deutschland
573
Patente gesamt
31
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte