Verfahren für Strukturen auf Nanomassstab aus Optischer Lithographie und Nachfolgendes Seitliches Wachstum
EP1609177
Art A2
28. Dezember 2005
Anmelder: NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1609177
- Aktenzeichen
- EP04758017
- Anmeldetag
- 22. März 2004
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/338H01L31/072
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
North Carolina State University
US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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Vertreten von
Skuhra, Udo
München, Deutschland
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12
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