Reinigungszusammensetzung für Halbleiterkomponente und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitergeräts

EP1609847 Art B1 21. März 2007

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1609847
Aktenzeichen
EP05013619
Anmeldetag
23. Juni 2005
Veröffentlichung
21. März 2007
Erteilung
21. März 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C11D11/00C11D7/34C11D7/06C11D7/32H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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