Resistzusammensetzung für einen Flüssigkeitseintauchbelichtungsprozess und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur damit

EP1610178 Art A1 28. Dezember 2005

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1610178
Aktenzeichen: EP04722980
Anmeldetag: 24. März 2004
Veröffentlichung: 28. Dezember 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/038G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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