Trägerplattevorrichtung, Belichtungseinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1610362 Art B1 14. September 2016

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1610362
Aktenzeichen: EP04724856
Anmeldetag: 31. März 2004
Veröffentlichung: 14. September 2016
Erteilung: 14. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F9/00G12B5/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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