Reinigungsverfahren, Verfahren zum Entfernen von Fremdteilchen, Reinigungsvorrichtung und Reinigungsflüssigkeit

EP1610366 Art A1 28. Dezember 2005

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1610366
Aktenzeichen: EP04724771
Anmeldetag: 31. März 2004
Veröffentlichung: 28. Dezember 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B08B3/04B08B7/00G03F1/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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