Plasmaverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren
EP1610368
Art A1
28. Dezember 2005
Anmelder: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1610368
- Aktenzeichen
- EP04717310
- Anmeldetag
- 4. März 2004
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sekisui Chemical
Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Hallybone, Huw George
London, Großbritannien
2.119
Patente gesamt
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Fachgebiete
28
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