Siliziumwafer-Wärmebehandlungs-Einspannvorrichtung und Silizumwafer-Wärmebehandlungsverfahren
Anmelder: SUMCO Corporation, Sumco Corporation, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1610374
- Aktenzeichen
- EP04724418
- Anmeldetag
- 30. März 2004
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2017
- Erteilung
- 11. Oktober 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/68H01L21/22H01L21/324C23C16/00F27D5/00F27B17/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SUMCO Corporation
Sumco Corporation
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Schon mit Eröffnung des Europäischen Patentamts 1977 gehörte Kraus & Weisert zu den ersten Kanzleien, die US-amerikanische und japanische Mandanten dort vertraten. Nach Fusion mit der 1934 gegründeten Lederer & Keller firmiert sie als Kraus & Lederer, mit China Desk in München.
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