Verfahren und Anordnung zur Kühlung eines Substrats, insbesondere eines Halbleiters

EP1611778 Art B1 7. Februar 2007

Anmelder: ebm-papst St. Georgen GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1611778
Aktenzeichen
EP05716140
Anmeldetag
17. März 2005
Veröffentlichung
7. Februar 2007
Erteilung
7. Februar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H05K7/20H01L23/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ebm-papst St. Georgen GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Ebm-papst St. Georgen

ebm-papst St. Georgen ist ein deutscher Hersteller von Ventilatoren und Elektromotoren für Antriebs- und Lüftungstechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf elektrische Energietechnik sowie Energie- und Antriebstechnik, ergänzt durch Schaltungstechnik. Die Titel betreffen unter anderem Einlaufdüsenbaugruppen und Strömungsleiteinrichtungen für Ventilatoren.

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