Elektroplattierungskopf und Verfahren zu dessen Gebrauch

EP1612298 Art A3 8. Juni 2011

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1612298
Aktenzeichen
EP05253928
Anmeldetag
24. Juni 2005
Veröffentlichung
8. Juni 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C25D17/14C25D5/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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