Verfahren und Vorrichtung für das Ätzen von Photomasken
EP1612840
Art A3
25. Juli 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1612840
- Aktenzeichen
- EP05252818
- Anmeldetag
- 9. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peterreins, Frank
München, Deutschland
2.106
Patente gesamt
34
Fachgebiete
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Weitere Vertreter
-
Bayliss, Geoffrey Cyril
NoneLondon