Extrem-Uv Lichtquelle, Extrem-Uv Lichtquellentargets und Verfahren zur Herstellung von Extrem-Uv Lichtquellentargets
EP1612848
Art B1
25. September 2013
Anmelder: Osaka University, Kansai Technology Licensing Organization Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1612848
- Aktenzeichen
- EP03786368
- Anmeldetag
- 26. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 25. September 2013
- Erteilung
- 25. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20G21K1/00G21K5/02H05G1/00H05H1/24H01J35/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Osaka University
Kansai Technology Licensing Organization Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Osaka University
Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
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