Belichtungsverfahren und Vorrichtung sowie Herstellungsverfahren für die Vorrichtung
EP1612849
Art B1
30. Mai 2012
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1612849
- Aktenzeichen
- EP04724369
- Anmeldetag
- 30. März 2004
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2012
- Erteilung
- 30. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Schmidt, Karsten
München, Deutschland
375
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München
-
Bergstrand, Mikael Gudmundsson
NoneStockholm
-
Harrison, Michael Charles
NoneMünchen