Kühlvorrichtung für Vakuumbehandlungsvorrichtung

EP1612853 Art B1 23. Februar 2011

Anmelder: IHI Corporation, Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1612853
Aktenzeichen
EP04703514
Anmeldetag
20. Januar 2004
Veröffentlichung
23. Februar 2011
Erteilung
23. Februar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00H01J37/02H01L21/68F28D15/00F28D15/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IHI Corporation
Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 IHI Corporation

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.

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