Cvd-Anlage und Reinigungsverfahren für eine Cvd-Anlage
Anmelder: Canon Anelva Corporation, Renesas Electronics Corporation, RESEARCH INSTITUTE OF INNOVATIVE TECHNOLOGY FOR THE EARTH 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1612857
- Aktenzeichen
- EP04720167
- Anmeldetag
- 12. März 2004
- Veröffentlichung
- 1. August 2018
- Erteilung
- 1. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
Renesas Electronics Corporation
RESEARCH INSTITUTE OF INNOVATIVE TECHNOLOGY FOR THE EARTH - Land
- 🇯🇵 Japan
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
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Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Mikrocontroller, analoge Bauelemente und Halbleiterlösungen unter anderem für die Automobil- und Industrieelektronik.
1.103 Patente in unserer Datenbank
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Dehns
Dehns · London