Optisches System, Verfahren zum Ändern der Optischen Verzögerung in Diesem System und Photolithographisches Gerät
EP1614007
Art A1
11. Januar 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1614007
- Aktenzeichen
- EP03722501
- Anmeldetag
- 17. April 2003
- Veröffentlichung
- 11. Januar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Ostertag, Ulrich
Stuttgart, Deutschland
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