Optisches Element für ein Beleuchtungssystem

EP1614008 Art B1 2. Dezember 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1614008
Aktenzeichen
EP04726991
Anmeldetag
13. April 2004
Veröffentlichung
2. Dezember 2009
Erteilung
2. Dezember 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Kanzlei
Sawodny Patentanwalt Ulm, Deutschland

Sawodny Patentanwalt (Dr. Michael Sawodny), Teil des Kanzleiverbunds AKLaw mit Standorten in München und Ulm. Seit 1995 im Patent- und Markenrecht tätig, seit 1996 als European Patent and Trademark Attorney, mit Schwerpunkten in Materialwissenschaften, Optik und Maschinenbau.

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