Mikroskopisches Abbildungssystem und Verfahren zur Emulation eines hochaperturigen Abbildungssystems, insbesondere zur Maskeninspektion
EP1615062
Art B1
16. April 2008
Anmelder: Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1615062
- Aktenzeichen
- EP05014397
- Anmeldetag
- 2. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 16. April 2008
- Erteilung
- 16. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B21/00G03F7/20G02B5/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMS GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Muhsfeldt, Willi
Jena, Deutschland
10
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte