Optisches Element, Optisches System, Lasereinrichtung, Belichtungseinrichtung, Maskenprüfeinrichtung und Kristallverarbeitungseinrichtung

EP1615067 Art B1 23. September 2015

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1615067
Aktenzeichen: EP04722409
Anmeldetag: 22. März 2004
Veröffentlichung: 23. September 2015
Erteilung: 23. September 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/35H01L21/027B23K26/02G02B3/06G03F7/20G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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