Maskenrohling, Maskenrohlingherstellungsverfahren, Transfermaskenherstellungsverfahren und Halbleiterbauelementeherstellungsverfahren

EP1615071 Art A1 11. Januar 2006

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1615071
Aktenzeichen
EP04724835
Anmeldetag
31. März 2004
Veröffentlichung
11. Januar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/08H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HOYA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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