Suszeptor und Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung
EP1615259
Art A1
11. Januar 2006
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1615259
- Aktenzeichen
- EP04720191
- Anmeldetag
- 12. März 2004
- Veröffentlichung
- 11. Januar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68C23C16/458C30B25/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
1.022 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Jones, Helen M.M
London, Großbritannien
946
Patente gesamt
31
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20
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Schwerpunkte