Auf organischem Siliziumoxid basierende Schicht, Zusammensetzung, und Verfahren zur Herstellung davon, und Halbleiteranordnung

EP1615260 Art A3 16. September 2009

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1615260
Aktenzeichen
EP05014801
Anmeldetag
7. Juli 2005
Veröffentlichung
16. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/312C09D183/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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