Kollektor für Euv Lichtquelle

EP1615695 Art A2 18. Januar 2006

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1615695
Aktenzeichen: EP04759330
Anmeldetag: 7. April 2004
Veröffentlichung: 18. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: A61N5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit

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