Gefaltete Konstruktion zur Implementierung Einergastransfermembran

EP1615713 Art A2 18. Januar 2006

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1615713
Aktenzeichen
EP04750404
Anmeldetag
22. April 2004
Veröffentlichung
18. Januar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/22
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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