Vorrichtung und Verfahren um Immersionsflüssigkeit unter einer Photolithographischen Linse Beisammenzuhalten

EP1616220 Art B1 1. Mai 2013

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1616220
Aktenzeichen: EP04721260
Anmeldetag: 17. März 2004
Veröffentlichung: 1. Mai 2013
Erteilung: 1. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03B27/32G03B27/42G03B27/58G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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