Verfahren zur Herstellung einer Verspannten Schicht auf einem Substrat und Schichtstruktur

EP1616346 Art A2 18. Januar 2006

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1616346
Aktenzeichen: EP04727506
Anmeldetag: 15. April 2004
Veröffentlichung: 18. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L21/762H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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