Polymerisierbare fluorierten Estern, Verfahren zur Herstellung, polymer, photoresistente Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Musters
EP1616854
Art B1
5. September 2007
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1616854
- Aktenzeichen
- EP05254298
- Anmeldetag
- 8. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 5. September 2007
- Erteilung
- 5. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07C69/65C07C69/653C08F20/24C08F20/26G03F7/004G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
4.655 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Stoner, Gerard Patrick
London, Großbritannien
1.364
Patente gesamt
33
Fachgebiete
10
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Schwerpunkte