Harz für Unterschichtmaterial, Unterschichtmaterial, Laminat und Verfahren zur Bildung eines Resistmusters
EP1616888
Art B1
11. Juli 2012
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1616888
- Aktenzeichen
- EP04727426
- Anmeldetag
- 14. April 2004
- Veröffentlichung
- 11. Juli 2012
- Erteilung
- 11. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/26G03F7/09G03F7/095G03F7/022G03F7/00C08G8/12C08G8/08G03F7/11G03F7/023C08G8/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
927 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hinkelmann, Klaus
München, Deutschland
259
Patente gesamt
31
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte