Aufschlämmungszusammensetzung und verfahren zum chemisch-mechanischen polieren von Kupfer integriert in einer Wolfram-Barriereschicht
EP1616926
Art A1
18. Januar 2006
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1616926
- Aktenzeichen
- EP05447071
- Anmeldetag
- 31. März 2005
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/02H01L21/321
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
2.629 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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33
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18
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Schwerpunkte
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Pronovem
Pronovem · Liège