Aufschlämmungszusammensetzung und verfahren zum chemisch-mechanischen polieren von Kupfer integriert in einer Wolfram-Barriereschicht

EP1616926 Art A1 18. Januar 2006

Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1616926
Aktenzeichen
EP05447071
Anmeldetag
31. März 2005
Veröffentlichung
18. Januar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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