Verfahren zur Herstellung eines Maskenrohlings

EP1617287 Art A1 18. Januar 2006

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1617287
Aktenzeichen: EP04723709
Anmeldetag: 26. März 2004
Veröffentlichung: 18. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/08H01L21/027B05C11/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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