Zusammensetzung zur Bildung eines Unterschichtfilms für die Lithographie mit Epoxydzusammensetzung und Carboxylsäurezusammensetzung

EP1617289 Art A1 18. Januar 2006

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1617289
Aktenzeichen: EP04725145
Anmeldetag: 1. April 2004
Veröffentlichung: 18. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08G59/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von