Apparat und Verfahren zur Maskenlosen Lithographie
EP1617290
Art A8
10. Mai 2006
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1617290
- Aktenzeichen
- EP04405446
- Anmeldetag
- 13. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 10. Mai 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
12.049 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kretschmer, Thomas
Rüschlikon, Schweiz
19
Patente gesamt
6
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte