Antriebsmechanismus für eine Vakuum-Behandlungsanlage
EP1617456
Art B1
18. Oktober 2006
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1617456
- Aktenzeichen
- EP04012663
- Anmeldetag
- 28. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 18. Oktober 2006
- Erteilung
- 18. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/20H01L21/68C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Zapfe, Hans
Heusenstamm, Deutschland
60
Patente gesamt
19
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte