Verfahren zur Züchtung eines Halbleiterkristalls

EP1617464 Art A1 18. Januar 2006

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1617464
Aktenzeichen
EP04721667
Anmeldetag
18. März 2004
Veröffentlichung
18. Januar 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/203H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Japan Science and Technology Agency
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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