Sondengerät mit Optischer Längenmesseinheit und Sondenprüfverfahren
EP1617468
Art A1
18. Januar 2006
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1617468
- Aktenzeichen
- EP04702857
- Anmeldetag
- 16. Januar 2004
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schwahn, Hartmut
Stuttgart, Deutschland
174
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26
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14
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-
Gleiss, Alf-Olav
NoneStuttgart