Verankerung von Dünnschichtmustern durch seitliche Oxidation zum Verhindern des Entfeuchtungseffekts
EP1617470
Art B1
3. September 2008
Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1617470
- Aktenzeichen
- EP05354026
- Anmeldetag
- 4. Juli 2005
- Veröffentlichung
- 3. September 2008
- Erteilung
- 3. September 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/84H01L21/78H01L21/762H01L21/86
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Jouvray, Marie-Andrée
Grenoble, Frankreich
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Fachgebiete
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Schwerpunkte